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このアイテムのアクセス数:
52
件
(
2025-07-09
22:34 集計
)
Permalink : https://doi.org/10.15002/00026403
Permalink : https://hdl.handle.net/10114/00026403
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説明
gradse_64_21R4123
pdf
545 KB
47
論文情報
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アイテムタイプ
紀要論文
タイトル
電気光学センサーシステムを用いた誘電体膜厚推定に関する研究
その他のタイトル
EVALUATION OF DIELECTRIC FILM THICKNESS USING ELECTRO-OPTIC SENSOR SYSTEM
著者
著者名
西山, 千翔
著者名
NISHIYAMA, Kazuto
言語
jpn
ISSN
24368083
DOI
https://doi.org/10.15002/00026403
出版者
法政大学大学院理工学研究科
雑誌名
法政大学大学院紀要. 理工学研究科編
巻
64
開始ページ
1
終了ページ
4
発行年
2023-03-24
著者版フラグ
Version of Record
キーワード
EO sensor system
Thickness measurement
integral of electric field distribution
抄録
This paper describes an evaluation method for the thickness of a dielectric film by integrating the electric field distribution in the electro-optic crystal using electromagnetic field simulation. The estimation results obtained from this method agree with the characteristics of the parallel-plate capacitance model, thus confirming that our method could evaluate the thickness of a dielectric film with a precision of 10 μm using an EO sensor system.
資源タイプ
Article
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