電気光学センサーシステムを用いた誘電体膜厚推定に関する研究

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Permalink : https://doi.org/10.15002/00026403

Permalink : https://hdl.handle.net/10114/00026403

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アイテムタイプ	紀要論文
タイトル	電気光学センサーシステムを用いた誘電体膜厚推定に関する研究
その他のタイトル	EVALUATION OF DIELECTRIC FILM THICKNESS USING ELECTRO-OPTIC SENSOR SYSTEM
著者	著者名西山, 千翔
著者	著者名 NISHIYAMA, Kazuto
言語	jpn
ISSN	24368083
DOI	https://doi.org/10.15002/00026403
出版者	法政大学大学院理工学研究科
雑誌名	法政大学大学院紀要. 理工学研究科編
巻	64
開始ページ	1
終了ページ	4
発行年	2023-03-24
著者版フラグ	Version of Record
キーワード	EO sensor system
	Thickness measurement
	integral of electric field distribution
抄録	This paper describes an evaluation method for the thickness of a dielectric film by integrating the electric field distribution in the electro-optic crystal using electromagnetic field simulation. The estimation results obtained from this method agree with the characteristics of the parallel-plate capacitance model, thus confirming that our method could evaluate the thickness of a dielectric film with a precision of 10 μm using an EO sensor system.
資源タイプ	Article
インデックス	資料タイプ別＞学内論文＞法政大学大学院紀要. 理工学研究科編
インデックス	501 学内論文＞紀要＞法政大学大学院紀要. 理工学研究科編＞ 64