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論文情報

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アイテムタイプ	紀要論文
タイトル	ANALYSIS OF STEP-VELOCITY DEPENDENCES OF CARBON CONCENTRATION IN c- AND m-PLANE GaN HOMOEPITAXIAL LAYERS
著者	著者名 Mochizuki, Kazuhiro
	著者名 Horikiri, Fumimasa
	著者名 Ohta, Hiroshi
	著者名 Mishima, Tomoyoshi
言語	eng
ISSN	02860201
DOI	https://doi.org/10.15002/00025847
出版者	法政大学イオンビーム工学研究所
雑誌名	PROCEEDINGS OF THE 39th SYMPOSIUM ON MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING RESEARCH CENTER OF ION BEAM TECHNOLOGY HOSEI UNIVERSITY (December 16, 2020)
巻	39
開始ページ	25
終了ページ	28
発行年	2021-02-26
著者版フラグ	Version of Record
キーワード	Carbon Concentration
	Step-velocity dependences
抄録	Reported step-velocity dependences of carbon concentration in c- and m-plane GaN homoepitaxial layers were successfully reproduced based on a step-edge segregation model with the following assumptions: 1) the diffusion coefficient of carbon in GaN is 2×10^-13 cm^2/s (@ 1000℃−1100℃); 2) the length of time before the carbon concentration at the step-edge site reaches its equilibrium value is sufficiently shorter than the meantime until a carbon atom incorporated at the kink site moves through the step-edge site to the surface site.
資源タイプ	Article
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