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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
14_kaken_2012_kuriyama	pdf	1.13 MB	58

論文情報

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アイテムタイプ	研究報告書
タイトル	シリコンチップ埋め込み超微小リチウム2次電池の構成と高機能化に関する研究
その他のタイトル	Study on the fabrication and high-performance of ultra-micro lithium secondary batteries embedded in silicon chips
著者	e-Rad 研究者番号 20125082 著者名 栗山, 一男
	著者名 KURIYAMA, Kazuo
言語	jpn
雑誌名	科学研究費助成事業（科学研究費補助金）研究成果報告書
開始ページ	1
終了ページ	4
発行年	2013-03
著者版フラグ	Version of Record
キーワード	超微小電池
	リチウム２次電池
	シリコンチップ埋め込み
内容記述	研究分野：化学，科研費の分科・細目：材料化学・ 機能材料・デバイス
抄録	研究成果の概要 (和文) : シリコン超LSI技術を駆使し、300ミクロン平方のAu/LiMn2O4(正極)/過塩素酸リチウム添加ポリメタル酸メチル樹脂(固体電解質)/多結晶シリコン(負極)構造をシリコン基板に埋め込んだ微小リチウム2次電池の開発を行った。充電電流3nA、放電電流10pA時の放電容量は3.7nAh/cm2であった。シリコン負極へのリチウムイオンの挿入・脱着過程における負極表面の構造変化を電子顕微鏡を用い原子レベルで観測した。
	研究成果の概要 (英文) : All-solid-state Li ion secondary battery, consisting of multiple layers (Poly Si anode / a poly methacrylate acetate (PMMA) electrolyte / LiMn2O4 cathode), is prepared using Si very-large-scale integration technologies. The PMMA solid electrolyte containing LiClO4 for the battery is embedded into an individual trench (300×300 μm2 in area and 2.0 μm in depth) of a double insulating layer (Si3N4/SiO2), which is directly stacked on a poly Si layer, leading to a Li free anode. The individual battery demonstrates a specific capacity of 3.70 nAh/cm2 obtained for the charge of 3 nA anddischarge of 10 pA.
助成	文部科学省科学研究費補助金[基盤研究(C)]　課題番号：22550167　研究期間：2010-2012
資源タイプ	Working Paper
インデックス	資料タイプ別 ＞ 科研費報告書
	401 科研費報告書 ＞ 2011(平成23)年度 科学研究費補助金研究成果報告書

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