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R006_8JSME	pdf	194 KB	37

論文情報

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アイテムタイプ	会議発表論文
タイトル	21314 真空ポンプにおける振動特性の研究(振動(1))
その他のタイトル	21314 Research of vibration characteristic in vacuum pump
著者	著者名 小暮, 雅也
	e-Rad 研究者番号 70016640 著者名 長松, 昭男
	著者名 森村, 浩明
	著者名 橋本, 直人
	著者名 Kogure, Masaya
	著者名 NAGAMATSU, Akio
	著者名 MORIMURA, Hiroaki
	著者名 Hashimoto, Naoto
言語	jpn
出版者	日本機械学会
雑誌名	日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
号	13
開始ページ	467
終了ページ	438
発行年	2007-03-15
著者版フラグ	Version of Record
キーワード	Vibration of Rotating Body
	Simulation
	Modal Analysis
	Vibration Control
内容記述	通計番号：No.070-1
抄録	This paper describes a research of vibration characteristic in vacuum pump. The vacuum pump is used for manufacturing the semiconductor etc. When the vacuum pump stops, it influences the entire production line. Therefore, it is requested from the vacuum pump not to break down while operating The rigid motion and the bend vibration that increases the vibration at the same time as understanding the operating vibration characteristic are understood in this research. Moreover, the model to be able to confirm the problem in operation etc. When the operation condition and the design condition are changed is made. The model making makes from the vibration characteristic of an actual vacuum pump, and understands the change in the vibration characteristic by the change in the design condition at the same time.
会議記述	会議名：日本機械学会関東支部第13期会総会講演会, 2007.3.16-17
	開催地：宇都宮大学峰キャンパス(栃木県宇都宮市)
権利	Copyright (C) 2007, JSME
	本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
資源タイプ	Article
書誌レコードID	AA11902161
インデックス	資料タイプ別 ＞ 学術雑誌論文 ＞ 自然科学
	301 学術雑誌論文 ＞ 自然科学

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