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資料タイプ別
学術雑誌論文
人文科学
社会科学
自然科学
このアイテムのアクセス数:
20
件
(
2024-09-01
08:18 集計
)
Permalink : https://hdl.handle.net/10114/4079
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
閲覧回数
説明
R006_8JSME
pdf
194 KB
39
論文情報
ファイル出力
アイテムタイプ
会議発表論文
タイトル
21314 真空ポンプにおける振動特性の研究(振動(1))
その他のタイトル
21314 Research of vibration characteristic in vacuum pump
著者
著者名
小暮, 雅也
e-Rad 研究者番号
70016640
著者名
長松, 昭男
著者名
森村, 浩明
著者名
橋本, 直人
著者名
Kogure, Masaya
著者名
NAGAMATSU, Akio
著者名
MORIMURA, Hiroaki
著者名
Hashimoto, Naoto
言語
jpn
出版者
日本機械学会
雑誌名
日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集
号
13
開始ページ
467
終了ページ
438
発行年
2007-03-15
著者版フラグ
Version of Record
キーワード
Vibration of Rotating Body
Simulation
Modal Analysis
Vibration Control
内容記述
通計番号:No.070-1
抄録
This paper describes a research of vibration characteristic in vacuum pump. The vacuum pump is used for manufacturing the semiconductor etc. When the vacuum pump stops, it influences the entire production line. Therefore, it is requested from the vacuum pump not to break down while operating The rigid motion and the bend vibration that increases the vibration at the same time as understanding the operating vibration characteristic are understood in this research. Moreover, the model to be able to confirm the problem in operation etc. When the operation condition and the design condition are changed is made. The model making makes from the vibration characteristic of an actual vacuum pump, and understands the change in the vibration characteristic by the change in the design condition at the same time.
会議記述
会議名:日本機械学会関東支部第13期会総会講演会, 2007.3.16-17
開催地:宇都宮大学峰キャンパス(栃木県宇都宮市)
権利
Copyright (C) 2007, JSME
本文データは学協会の許諾に基づきCiNiiから複製したものである
資源タイプ
Article
書誌レコードID
AA11902161
インデックス
資料タイプ別
 > 
学術雑誌論文
 > 
自然科学
301 学術雑誌論文
 > 
自然科学
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